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做半导体工艺中硅片外延片与单晶CZ晶片有什么区别?

发布日期:2020-01-14 17:00   来源:未知   阅读:

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  展开全部外延生长技术发展于20世纪50年代末60年代初,为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻。像现在很火的led、mems,应该大多是做外延硅。

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