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生产发光二极管外延片及芯片污染吗

发布日期:2020-01-28 06:15   来源:未知   阅读:

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  外延用的MO源(金属有机气相物)都是有毒的,用到的原料氨气也是会有泄露的。若是制造砷化镓的话,清洁过贝克炉用过的无尘布(一次性)也是带有点东西的。

  把外延片变成芯片的过程也是有毒有污染的。什么氯气、三氯化硼、去蜡液、光刻胶、蚀刻液、王水等均是有毒有害的,废水、固体废弃物很多的!

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